Sut Mae Sputtering Magnetron yn Gweithio?
Mae sputtering Magnetron yn ddull dyddodiad anwedd corfforol (PVD), dosbarth o brosesau dyddodiad gwactod ar gyfer cynhyrchu ffilmiau a haenau tenau.
Mae'r enw "magnetron sputtering" yn deillio o'r defnydd o feysydd magnetig i reoli ymddygiad y gronynnau ïon a godir yn y broses dyddodi magnetron sputter.Mae'r broses yn gofyn am siambr gwactod uchel i greu amgylchedd pwysedd isel ar gyfer sputtering.Mae'r nwy sy'n cynnwys y plasma, sef nwy argon yn nodweddiadol, yn mynd i mewn i'r siambr yn gyntaf.
Mae foltedd negyddol uchel yn cael ei gymhwyso rhwng y catod a'r anod i gychwyn ïoneiddiad y nwy anadweithiol.Mae ïonau argon positif o'r plasma yn gwrthdaro â'r deunydd targed â gwefr negyddol.Gall pob gwrthdrawiad o ronynnau egni uchel achosi atomau o'r arwyneb targed i daflu allan i'r amgylchedd gwactod a gyrru ar wyneb y swbstrad.
Mae maes magnetig cryf yn cynhyrchu dwysedd plasma uchel trwy gyfyngu'r electronau ger yr wyneb targed, cynyddu cyfradd y dyddodiad ac atal difrod i'r swbstrad rhag peledu ïon.Gall y rhan fwyaf o ddeunyddiau weithredu fel targed ar gyfer y broses sputtering gan nad oes angen toddi neu anweddu'r deunydd ffynhonnell ar y system sputtering magnetron.
Paramedrau Cynnyrch
Enw cynhyrchion | Targed titaniwm pur |
Gradd | Gr1 |
Purdeb | Mwy 99.7% |
Dwysedd | 4.5g/cm3 |
MOQ | 5 darn |
Maint gwerthu poeth | Φ95*40mm Φ98*45mm Φ100 * 40mm Φ128*45mm |
Cais | Gorchudd ar gyfer peiriant PVD |
Maint stoc | Φ98*45mm Φ100 * 40mm |
Targedau eraill sydd ar gael | molybdenwm(Mo) Chrome(Cr) TiAl Copr(Cu) Sirconiwm(Zr) |
Cais
■Gorchuddio cylchedau integredig.
■Arddangosfeydd panel wyneb o baneli gwastad a chydrannau eraill.
■Addurno a gorchudd gwydr, ac ati.
Pa gynhyrchion y gallwn eu cynhyrchu
■Targed fflat titaniwm purdeb uchel (99.9%, 99.95%, 99.99%)
■Cysylltiad llinynnol safonol ar gyfer gosodiad hawdd (M90, M80)
■Cynhyrchu annibynnol, pris fforddiadwy (ansawdd y gellir ei reoli)
Gwybodaeth Archeb
Dylai ymholiadau ac archebion gynnwys y wybodaeth ganlynol:
■ Diamedr, Uchder (fel Φ100 * 40mm).
■ Maint yr edau (Fel M90 * 2mm).
■ Nifer.
■ Galw purdeb.