Mae'r dull anweddu trawst electron yn fath o cotio anweddiad gwactod, sy'n defnyddio trawstiau electron i gynhesu'r deunydd anweddu yn uniongyrchol o dan amodau gwactod, anweddu'r deunydd anweddu a'i gludo i'r swbstrad, a chyddwyso ar y swbstrad i ffurfio ffilm denau. Yn y ddyfais gwresogi trawst electron, rhoddir y sylwedd wedi'i gynhesu mewn crucible wedi'i oeri â dŵr, a all osgoi'r adwaith rhwng y deunydd anweddu a'r wal crucible ac effeithio ar ansawdd y ffilm. Gellir gosod crucibles lluosog yn y ddyfais i gyflawni anweddiad cydamserol neu ar wahân a dyddodiad gwahanol sylweddau. Gydag anweddiad trawst electron, gellir anweddu unrhyw ddeunydd.
Gall anweddiad pelydr electron anweddu deunyddiau pwynt toddi uchel. O'i gymharu ag anweddiad gwresogi gwrthiant cyffredinol, mae ganddo effeithlonrwydd thermol uwch, dwysedd cerrynt trawst uwch, a chyflymder anweddiad cyflymach. Ffilm a ffilm o ddeunyddiau optegol amrywiol megis gwydr dargludol.
Nodwedd anweddiad trawst electron yw na fydd, neu'n anaml, yn gorchuddio dwy ochr y strwythur tri dimensiwn targed, ac fel arfer dim ond dyddodion ar yr wyneb targed. Dyma'r gwahaniaeth rhwng anweddiad pelydr electron a sputtering.
Defnyddir anweddiad trawst electron yn gyffredin ym maes ymchwil a diwydiant lled-ddargludyddion. Defnyddir yr egni electron carlam i daro'r targed deunydd, gan achosi i'r targed deunydd anweddu a chodi. Yn y pen draw adneuwyd ar y targed.
Amser postio: Rhag-02-2022