Targed Rotari Metel
Cymhwysir meysydd magnetig a thrydan orthogonal rhwng y targed sputtering (catod) a'r anod.A llenwch y nwy anadweithiol gofynnol (nwy Ar fel arfer) yn y siambr gwactod uchel.O dan weithred maes trydan, mae nwy Ar yn cael ei ïoneiddio'n ïonau ac electronau positif.Mae foltedd uchel negyddol penodol yn cael ei gymhwyso i'r targed, mae'r maes magnetig yn effeithio ar yr electronau a allyrrir gan y targed, mae tebygolrwydd ïoneiddiad y nwy gweithio yn cynyddu, mae plasma dwysedd uchel yn cael ei ffurfio ger y catod, ac mae'r ïonau Ar yn cael eu heffeithio. gan lu Lorentz.Yna cyflymwch i hedfan i'r wyneb targed, a peledu'r wyneb targed ar gyflymder uchel, fel bod yr atomau sputtered ar y targed yn dilyn yr egwyddor o drawsnewid momentwm, yn hedfan o'r wyneb targed i'r swbstrad, ac yn adneuo ffilm egni cinetig uchel.
Er mwyn gwella cyfradd defnyddio'r deunydd targed ymhellach, dyluniwyd catod cylchdroi gydag effeithlonrwydd defnydd uwch, a defnyddir deunydd targed tiwbaidd ar gyfer cotio sputtering.Mae gwella offer sputtering yn ei gwneud yn ofynnol i'r targed gael ei newid o siâp gwastad i siâp tiwbaidd, a gall cyfradd defnyddio'r targed cylchdroi tiwbaidd fod mor uchel â 70%, sydd i raddau helaeth yn datrys y broblem o ddefnydd isel o'r targed gwastad.
Enw cynhyrchion | Targed cylchdro metel |
Deunydd | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Maint gwerthu poeth | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm Gellir ei brosesu hefyd yn unol â gofynion penodol cwsmeriaid |
MOQ | 3 darn |
Pecyn | Achos pren haenog |
Cais
Mae cotio sputtering yn fath newydd o ddull cotio anwedd corfforol.O'i gymharu â'r dull cotio anweddu, mae ganddo fanteision amlwg
mewn sawl agwedd.Mae targedau chwistrellu metel wedi'u defnyddio mewn sawl maes.Prif gais cylchdroi targed.
■Celloedd solar
■Gwydr pensaernïol
■Auto gwydr
■Lled-ddargludydd
■Teledu sgrin fflat, ac ati
Gwybodaeth Archeb
Dylai ymholiadau ac archebion gynnwys y wybodaeth ganlynol:
☑Manyleb darged ID × OD × L (mm).
☑Swm sydd ei angen.
☑Cysylltwch â ni am fwy o anghenion arbennig.